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用Minitab软件统计分析软件对多晶硅生产过程质量进行了分析.采用控制图、直方图、能力分析和因果图等方法分析了精馏工序Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ,尾气回收工序、还原工序2013年3~5月的检测数据,明确了精馏工序Ⅳ、尾气回收工序Ⅱ,以及还原工序的日常管理为影响质量能力的主要因素.采取相应措施后多晶硅的品级率逐步提升.