较高气压下激光烧蚀等离子体的动力学特性

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建立一维半导体Ce的激光烧蚀模型,对波长为248nm,脉宽为17ns,峰值功率密度为4×10^8w/cm^2的KrF脉冲激光在1000torr(1torr=133.32pa)氦气环境下烧蚀晶体Ge及产生等离子体的过程进行了数值模拟,并对计算结果进行分析比较。结果表明在惰性气体环境下,气压在ltorr和1000torr之间变化对等离子体屏蔽现象的出现几乎不产生影响;背景气压的增大抑制了粒子的扩散,使等离子体的膨胀速度减小,限制了其膨胀的空间。
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