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MEMS(微电子机械系统)技术为我们带来了具有传感和执行功能的电子器件,它们的价格更为便宜,技术更为成熟。
浅谈MEMS技术（微电子机械系统）
【摘 要】
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MEMS(微电子机械系统)技术为我们带来了具有传感和执行功能的电子器件,它们的价格更为便宜,技术更为成熟。
【出 处】
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汽车维修与保养
【发表日期】
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2002年9期
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