轴承钢磁控溅射TiN涂层工艺参数对其性能的影响

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目的研究磁控溅射工艺参数,包括溅射功率、溅射时间,对TiN涂层轴承铜表面性能的影响。方法采用磁控溅射技术,固定其他工艺参数不变,分别以溅射功率和溅射时间为变量,在轴承钢GCrl5表面镀制TiN膜层,并测定硬度,进行摩擦磨损试验。结果固定溅射功率为200W,随镀膜时间的延长,硬度和耐磨性呈递减趋势,镀膜时间为5~10min时,硬度值达345.23-353.88HV.摩擦磨损量为2.9~3.4mg。固定镀膜时间为30min,随着溅射功率从70w增大至200W,硬度与耐磨性也呈递减趋势,溅射功率为100W时,硬
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