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介绍伺服滑台驱动系统的构成,分析出影响其定位精度的主要误差来源有电机定位误差、齿轮齿条副的齿隙和减速器的回程间隙.通过对各项主要误差来源的影响因素和控制方法分析,提出提高伺服滑台定位精度的典型方法:一是通过直接降低各项主要误差实现任意位置精确定位;二是通过引入外置辅助机械定位机构提高滑台在特定位置的定位精度.