【摘 要】
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X射线源是X射线显微成像系统的核心部件,其功率密度和焦斑大小与聚焦系统密切相关。本文对高功率密度微焦斑X射线源的聚焦系统进行了优化设计,包括透镜结构设计、多透镜工作
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院大学,北京航空航天大学
【基金项目】
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国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2017YFF0107202),中国科学院关键技术研发团队资助项目(No.GJJSTD20170005),中国科学院关键技术团队“微纳加工技术及装备研究团队”项目(No.GJJSTD2017004).
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X射线源是X射线显微成像系统的核心部件,其功率密度和焦斑大小与聚焦系统密切相关。本文对高功率密度微焦斑X射线源的聚焦系统进行了优化设计,包括透镜结构设计、多透镜工作模式的选择、透镜间距优化等。本文设计了小球差系数的物镜;提出了由聚光镜、辅助聚光镜和物镜组成的多透镜聚焦系统,以实现系统较大的缩放比率和束流较高的传递效率;优化了透镜间距,以保证在满足系统缩放比率的前提下减小聚光镜的安匝数。最后,运用MEBS公司专业电子束计算软件,计算仿真了160kV的加速电压下聚焦系统中透镜的场分布、电子的运动轨迹、像差、束
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