白光测量法深入亚微米领域

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cdna3
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目前还没有一种测量技术,如同非接触测距那样。努力按照新的测量方法和测量布局进行工作。在熟悉的光学测量法中,激光作为光源,起着决定性作用。仅有的几种人们所熟悉的方法,不管是否涉及三角测量,CD一扫描或测距用的往返移动的透镜,经仔细观察,总有不可解决的物理局限 There is currently no such measurement technique as non-contact ranging. Efforts to work according to the new measurement methods and measurement layout. In the familiar optical measurement method, the laser as a light source, plays a decisive role. There are only a few familiar methods, whether they involve triangulation, round-trip lenses for CD-scanning or ranging, and careful observation of the physical limitations that can not be solved
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