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研制了立式轴系结构靶丸AFM表面轮廓仪,对测量装置的精度进行了系统的测试。针对影响测量结果的不确定性因素,分别从气浮轴系回转误差、系统静态噪声误差以及综合测量误差几个角度开展实验研究。采用标准球及两步回转误差分离法获取了气浮轴系系统误差数据,在实际测量时作为系统误差进行消除。综合测量实验证明,该系统的测量噪声峰谷极差约22nm,RMS为5.2nm。