氯化亚铜对多晶硅冷氢化技术中三氯氢硅收率的影响

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从行业发展的角度来看,进一步提升三氯氢硅收率成为有机硅企业重点研究的内容.随着相关技术的发展,三氯氢硅相关装置的压力、温度等相关数据逐渐趋于稳定状态,因此催化剂的选择成为重要影响因素.从冷氢化技术入手,最终选定氯化亚铜为催化剂,并采用实验分析的方法证实了氯化亚铜对三氯氢硅收率的影响.实验结果发现,在多晶硅冷氢化技术中,氯化亚铜的使用会提高三氯氢硅的收率,具有技术可行性.
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