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本文建立了由ＣＡＤ技术、计算机视觉技术和计算机辅助检测规划（ＣＡＩＰ）技术与数控坐标测量机（ＣＮＣ－ＣＭＭ）集成形成的机器人化柔性自动坐标测量系统（ＲＦＡＣＭＳ）。ＲＦＡＣＭＳ将计算机视觉和ＣＡＩＰ引入ＣＮＣ－ＣＭＭ，极大地提高了ＣＮＣ－ＣＭＭ的柔性化和自动化程度；利用ＣＡＤ数据库中的工件信息，是ＲＦＡＣＭＳ集成到柔性制造系统（ＦＭＳ）或计算机集成制造系统（ＣＩＭＳ）的基础。文中给出了ＲＦＡＣＭＳ