ZnO薄膜的制备技术与应用领域

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ZnO是一种新型的Ⅱ-Ⅵ族宽禁带(3.37eV)化合物半导体材料,具有较高的激子束缚能(室温下为60meV)和光增益系数320cm-1,是一种理想的短波长光电器件材料,在蓝紫光发光二极管(LEDs)和激光器(LDs)等领域有巨大的应用潜力。该文就ZnO薄膜的制备方法和应用做一简要综述。
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