基于ESPI技术的物体缺陷自动识别技术

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 8次 | 上传用户:zhoupingwoo
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电子散斑干涉技术是变形和缺陷检测的重要技术方法,具有非接触、动态特性好、灵敏度高等优点。在缺陷检测中,以变形为载体,通过变形分布上的异常判别缺陷是否存在和大致位置。在这个过程中,如何摆脱人的主观判断,实现缺陷的自动识别,一直是一个技术难点。本文以实现缺陷自动识别为目标,探讨了电子散斑干涉技术的物体缺陷识别技术。总结了ESPI实现系统和变形测量的主要算法,包括时域相移干涉仪中算法、空域载波相移干涉仪中算法及空域相移干涉仪中算法,分析了各自的特点并进行了归类。描述了变形与缺陷之间的关系。讨论和总结了缺陷
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