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针对特殊器件烘烤温度低于200℃的要求，分析了影响管内真空度的相关因素，进行了升温过程中烘烤温度对真空度影响的实验研究，取得了在约170℃时器件内材料放气量大、真空度相对最低等相关数据，依此确定了升温速率及烘烤工艺。
特殊器件低温烘烤排气的实验研究
【摘 要】
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针对特殊器件烘烤温度低于200℃的要求，分析了影响管内真空度的相关因素，进行了升温过程中烘烤温度对真空度影响的实验研究，取得了在约170℃时器件内材料放气量大、真空度相对最
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2004年4期
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