真空退火Fe/Pt多层膜的结构和磁性

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lslandgp1972

【摘要】

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采用直流磁控溅射方法制备了Fe/Pt多层膜和FePt单层薄膜,并在不同温度下真空热处理得到了有序相L10-FePt薄膜.研究表明,Fe/Pt多层膜化可以降低FePt薄膜有序相的转变温度.[Fe(

【作者】

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李宝河黄阀杨涛翟中海朱逢吾

【机构】

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北京科技大学材料物理与化学系,北京工商大学数理部,金日成综合大学物理系

【出处】

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半导体学报

【发表日期】

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2005年z1期

【关键词】

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L10-FePt有序相磁控溅射有序度 Fe/Pt多层膜

【基金项目】

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国家自然科学基金资助项目(批准号:50301002)

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采用直流磁控溅射方法制备了Fe/Pt多层膜和FePt单层薄膜,并在不同温度下真空热处理得到了有序相L10-FePt薄膜.研究表明,Fe/Pt多层膜化可以降低FePt薄膜有序相的转变温度.[Fe(1.5nm)/Pt(1.5nm)]13薄膜在350℃热处理后,有序度已经增加到0.6,而且矫顽力达到了501kA/m.多层膜化促进有序化在较低的温度下进行,这主要是因为原子在多层膜界面扩散更快.

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