金属微孔膜在多晶硅生产中的应用研究

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采用过滤精度为1微米的金属微孔膜,在多晶硅合成气工艺环节进行了应用研究,结果表明经过金属微孔膜过滤后,合成气内的粉尘含量可以降至40 mg/cm3,对于大于1微米的粉尘颗粒具有显著的拦截效果,经过再生,金属微孔膜过滤系统的可以在过滤压差小于25 KPa下运行。
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