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金属微孔膜在多晶硅生产中的应用研究
金属微孔膜在多晶硅生产中的应用研究
来源 :过滤与分离 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jerklie198091
【摘 要】
:
采用过滤精度为1微米的金属微孔膜,在多晶硅合成气工艺环节进行了应用研究,结果表明经过金属微孔膜过滤后,合成气内的粉尘含量可以降至40 mg/cm3,对于大于1微米的粉尘颗粒具
【作 者】
:
杨保军
汪强兵
汤慧萍
李烨
杨坤
【机 构】
:
西北有色金属研究院金属多孔材料国家重点实验室
【出 处】
:
过滤与分离
【发表日期】
:
2015年03期
【关键词】
:
金属微孔膜
多晶硅合成气
再生
应用研究
【基金项目】
:
陕西省科技统筹创新工程计划资助项目(2014KTCQ01-18)
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采用过滤精度为1微米的金属微孔膜,在多晶硅合成气工艺环节进行了应用研究,结果表明经过金属微孔膜过滤后,合成气内的粉尘含量可以降至40 mg/cm3,对于大于1微米的粉尘颗粒具有显著的拦截效果,经过再生,金属微孔膜过滤系统的可以在过滤压差小于25 KPa下运行。
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