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在重离子与靶原子直接碰撞导致原子内壳层空穴产额与离子入射动能关系的基础上,计算了单离子入射引起的原子间碰撞产生的原子内壳层空穴产额。给出了低能重离子与靶原子碰撞过程,原子内壳层X射线单离子产额与离子动能的关系。较好地解释了动能300~600 ke V的Xe^27＋离子入射Mo靶,激发的Mo的L X射线的实验结果。