薄膜电致发光器件制作技术的比较

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引言目前,已有三个公司正在生产单色、黄色发光的薄膜电致发光(TFEL)器件。据文献报告,它们采用不同的工艺沉积有源ZnS:Mn<sup>2+</sup>薄膜。夏普公司采用电子束沉积,Planar公司采用热蒸发法,而洛加(Loh-ja)公司采用原子层外延和化学汽相沉积法。GTE公司是第一家在试制阶段使用射频溅射方法的。曾有人说,溅射工艺本来只能生产出效率相当低的产品,而用原子层外延法可获得最好的器件,这种争论在其它讨论中对串联式射频溅射装置产生了强烈影响,人们无疑
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