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采用电子束物理气相沉积方法（EB-PVD）成功制备了直径为1000mm，厚度为0．10-0．13mm的镍基合金薄板。利用光学显微镜（OM）、扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）等测试方法，对时效热处理前后试样形貌、析出相组成、高温拉伸性能进行了研究。结果表明，镍基合金薄板材料时效热处理后，晶粒长大，随时效时间延长，晶粒长大速率明显降低。在时效过程中，有细小碳化物颗粒在晶界析出，衍射花样分析表明，碳化物为FCC结构的（Cr,Fe）23C6。时效热处理后，镍基合金薄板材料高温拉伸性能有了很大提高