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叙述环境及洁净度对集成光学专业超净室的重要性,及超净室内专业设备的常规维护保养方法.
集成光学超净室环境保持及专业设备维护保养
【摘 要】
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叙述环境及洁净度对集成光学专业超净室的重要性,及超净室内专业设备的常规维护保养方法.
【机 构】
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北京航空航天大学五研
【出 处】
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中国设备工程
【发表日期】
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2001年8期
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