【摘 要】
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原子力显微镜（AFM）能获得材料表面形貌、三维图、表面粗糙度等信息,是定量分析材料表面的主要工具之一.以自制的多孔膜为研究对象,通过对AFM图像的平滑处理以及改变扫描范围,系
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原子力显微镜（AFM）能获得材料表面形貌、三维图、表面粗糙度等信息,是定量分析材料表面的主要工具之一.以自制的多孔膜为研究对象,通过对AFM图像的平滑处理以及改变扫描范围,系统研究了上述因素对多孔膜孔深和表面粗糙度参数测量的影响.结果表明,多孔膜的AFM图像经平滑处理后局部会发生扭曲,多孔部分与膜之间的界限变得模糊,使孔深测量偏差较大,不能完全反映膜的表面微观结构.当扫描范围较小时（≤2μm×2μm）,孔深和表面粗糙度参数测量的相对误差较小,而不同扫描范围下得到的表面粗糙度参数的相对标准偏差有较
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