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将循环电场引起电荷注入并产生局部相分解的理论引入到氧空位模型中，建立了一个解析形式的钙钛矿结构铁电薄膜极化疲劳模型。结合该模型讨论了铁电薄膜与金属电极间的低介电常数界面层对疲劳特性的影响，认为界面层对疲劳的产生起关键作用。运用该模型分析了不同松弛时间、电压、温度下的疲劳特性，并与已报道的实验结果进行了对比，模型计算结果与实验数据具有很好的一致性。