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以V2O5粉末为原料,采用无机溶胶-凝胶法制备了V2O5凝胶膜,经过真空退火处理得到了以VO2为主的薄膜.利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对不同实验条件下得到的薄膜的物相和表面形貌进行分析,得出了VOx薄膜相结构及表面形貌与真空退火条件之间的关系.
真空退火对VOx薄膜相结构及表面形貌的影响
【摘 要】
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以V2O5粉末为原料,采用无机溶胶-凝胶法制备了V2O5凝胶膜,经过真空退火处理得到了以VO2为主的薄膜.利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对不同实验条件下得到的薄膜的物相
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2003年3期
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