H2/CH4/H2S/Ar气氛合成n型金刚石薄膜过程中硫分布的数值模拟

来源 :河北大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:jinhe_ieka
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本工作采用Monte Carlo方法,根据辉光放电理论,对以H2S为掺杂源气体采用EACVD技术合成n型硫掺杂的金刚石薄膜的动力学过程进行了模拟.得出不同气压、偏压情况下n型硫掺杂的金刚石薄膜的动力学过程中掺杂元素S和S+粒子数分布,计算结果对掺杂过程的研究具有参考价值.
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