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RF-MEMS器件的出现,适应了现代光刻技术和硅IC技术、无线通讯技术的发展的需要,因此很快引起学术界和工业的巨大的重视.可以预言,RF-MEMS器件将很快从实验室走向生产实际,在国民经济的各个方面包括通讯、航天航空技术、交通技术、生物医学领域以及国防工业中发挥重要作用.
RF MEMS器件面面观
【摘 要】
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RF-MEMS器件的出现,适应了现代光刻技术和硅IC技术、无线通讯技术的发展的需要,因此很快引起学术界和工业的巨大的重视.可以预言,RF-MEMS器件将很快从实验室走向生产实际,在
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
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世界电子元器件
【发表日期】
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2002年1期
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