无镉的铜铟镓硒太阳电池关键膜层XPS及AFM分析

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：outerwy

【摘要】

：

应用溅射后硒化法和原子层沉积法分别制备了无镉的铜铟镓硒电池关键膜层CIGS光吸收薄膜和ZnO缓冲层,着重对该两膜层进行XPS和AFM表面分析,得到比较理想的制备工艺条件,并结合

【作者】

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廖荣张海燕王道然杨铁铮范宇

【机构】

：

广东工业大学材料与能源学院,华南理工大学电子与信息学院

【出处】

：

电子显微学报

【发表日期】

：

2014年3期

【关键词】

：

原子层沉积氧化锌 XPS AFM 无镉的铜铟镓硒太阳能电池 atomic layer deposition zinc oxide XPS AFM Cd

【基金项目】

：

2013年华南理工大学教研教改项目（No.x2dx-Y1130010）,国家级大学生创新创业训练计划项目（No.201210561042）.

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应用溅射后硒化法和原子层沉积法分别制备了无镉的铜铟镓硒电池关键膜层CIGS光吸收薄膜和ZnO缓冲层,着重对该两膜层进行XPS和AFM表面分析,得到比较理想的制备工艺条件,并结合其它检测方法：SEM、XRD及吸收光谱等,证明采用操作简便、成本低廉的该工艺能制备出无镉的铜铟镓硒电池.通过Ⅰ-Ⅴ测试结果,该电池有一定的光电转换效率.

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