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期刊论文
微加速度开关吸附力仿真计算
微加速度开关吸附力仿真计算
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:UltraSparc
【摘 要】
:
研究了平面度对微加速度开关触点形貌的影响,建立了触点吸附物理模型,根据微观连续介质理论推导出触点间包含斥力项的吸附力数学模型,经仿真得到吸附力随触点间隙的非线性变
【作 者】
:
田文超
贾建援
【机 构】
:
西安电子科技大学机电工程学院
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
2003年11期
【关键词】
:
微电子机械系统
MEMS
微加速度开关
吸附力
微观连续介质法
micro electromechanical systems (MEMS)
micro ac
【基金项目】
:
国家高技术研究发展计划(863计划),西安电子科技大学校科研和教改项目
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研究了平面度对微加速度开关触点形貌的影响,建立了触点吸附物理模型,根据微观连续介质理论推导出触点间包含斥力项的吸附力数学模型,经仿真得到吸附力随触点间隙的非线性变化规律,并得到最大吸附力,从而为微加速度开关的结构设计和系统分析提供理论基础.
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