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采用自制薄膜球盘磨损试验机,研究用IBAD技术制备碳膜的碳膜的摩擦学性能,并与CrN-Cu膜进行对比.结果表明,碳膜的摩擦系数明显低于CrN-Cu膜.CrN-Cu随载荷增加摩擦系数增大,而类石墨膜却出现随载荷增大摩擦系数减小.CrN-Cu膜的磨屑增大摩擦系数,碳膜的磨屑在一定程度上减小摩擦系数.