论文部分内容阅读
论述曝光面积可达３３５．６ｍｍ×３５５．６ｍｍ（４″×１４″），套刻精度为±２μｍ，接近式（０～２５μｍ）液晶面版光刻机的新型工作台设计。
大面积液晶面板光刻机新型工作台设计
【摘 要】
：
论述曝光面积可达３３５．６ｍｍ×３５５．６ｍｍ（４″×１４″），套刻精度为±２μｍ，接近式（０～２５μｍ）液晶面版光刻机的新型工作台设计。
【机 构】
：
福州大学机械系
【出 处】
：
中国机械工程
【发表日期】
：
1995年S1期
其他文献
本文研究微球表面镀金属膜对微球绝热热导率的影响。近年来，对微球绝热的兴趣日益增长，建议用微球绝热来替代诸如真空、粉末或多层等传统的绝热技术。
根据光声法实时监测激光焊接质量的机理，研制出可快速、准确记录和分析焊接质量的特征先声信号及各焊接工艺参数的微机监测系统。研究光声信号随焊接工艺参数的动态响应过程，分
论述应用专家系统的原理和方法制定ＦＭＳ协调控制级的作业计划调度策略，使之具备灵活多样的高度功能，提高生产效率。提出ＦＭＳ的面向对象的建模方法和模型，给出实现的方法，针对上海第四机床
一、研究背景作为在区域经济发展中上联大城市、下接建制镇和广大的农村,在区域经济的发展中起着调整和合理布局生产力,担负着区域经济中心职能,领导区域经济发展的中小城市,
锻件通常是用单一的成形工艺加工的。随着锻件尺寸和精度的提高，需要更大吨位的盛开有设备和非常昂贵的、高精度的模具。由于模具在非常高的接触应力下工作，其寿命大为缩短，因此
随着社会经济的不断繁荣与发展，体育社会化的程度也在逐步地加深，体育的审美功能被摆到了研究日程上来。美学属于哲学范畴，而体育又是由众多学科交叉组成的新型学科，所以体育美学
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
“访惠聚”“民族团结一家亲”、深度扶贫、学前支教等活动,在一定程度而言,是一种动态的互嵌型社区建设的新实践。通过“访惠聚”“民族团结一家亲”等各类活动,加深各民族
近年来,诸多被视为道德绑架的焦点事件及其引发的舆论热潮引发了全社会的关注与焦虑。相关事件与舆论中的基本道德概念需要清晰的定义与理解,引发舆论热潮与道德焦虑的情感因