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介绍了MEMS技术的原理及其设计与制造技术,重点介绍了导航级MEMS惯性传感器的发展和应用现状,最后阐明自主研发是我国导航级MEMS惯性传感器发展的唯一道路。
MEMS和导航级MEMS惯性传感器
【摘 要】
：
介绍了MEMS技术的原理及其设计与制造技术,重点介绍了导航级MEMS惯性传感器的发展和应用现状,最后阐明自主研发是我国导航级MEMS惯性传感器发展的唯一道路。
【机 构】
：
昆明物理研究所
【出 处】
：
飞航导弹
【发表日期】
：
2008年8期
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