论文部分内容阅读
脉冲激光沉积法（PLD）以其低温成膜优势被公认为是宽禁带半导体AIN薄膜的优选制备方法。获得高质量的AIN薄膜需要最佳的薄膜／衬底匹配和工艺参数。综述了各种常见异质外延衬底与AIN薄膜的取向关系，分析了影响薄膜质量的工艺因素，介绍了薄膜在电、光、热方面的性能研究现状，并指出了今后工作的方向。
脉冲激光沉积AlN薄膜的结构表征和性能研究进展
【摘 要】
：
脉冲激光沉积法（PLD）以其低温成膜优势被公认为是宽禁带半导体AIN薄膜的优选制备方法。获得高质量的AIN薄膜需要最佳的薄膜／衬底匹配和工艺参数。综述了各种常见异质外延衬底与A
【机 构】
：
广西大学材料科学与工程学院有色金属及材料加工新技术教育部重点实验室
【出 处】
：
材料导报
【发表日期】
：
2010年11期
其他文献
采用水热法制备了一种新型多孔镍钴修饰钛电极（Ni—Co／Ti）。利用循环伏安、电位阶跃等电化学技术研究了碱性溶液中Ni—Co／Ti电极对葡萄糖氧化的电催化活性。双电位阶跃分析表明，葡
探究性学习是相对接受性学习而言的。接受性学习是将学习内容直接呈现给学习者，而探究件学习中学习内容则是以问题的形式呈现的。与接受性学习相比，探究性学习且有更强的问题性
分析了PP-R（无规共聚聚丙烯）管材料MFR（熔体流动速率）的变化对力学性能的影响，着重通过双螺杆挤出机研究了PP—R管材料熔融挤出过程中影响MFR变化的因素。结果表明，合适的加工工艺
行为导向教学法强调师生互动，强调教学与实践紧密结合，注重以学生为主体。在路桥专业课程教学中引入行为导向教学法，可运用现场教学法增强学生感性认识，运用情景教学法提高教学实
结合近年来岩藻聚糖硫酸酯作为新型药物转运载体的研究现状，重点介绍了岩藻聚糖硫酸酯在缓释包衣、微球栓塞、纳米给药、基因治疗、外科修复和透皮给药等新型药物转运体系方面
主要通过分析无机碳链工业生产过程中碳的转化过程研究碳高循环资源化的可行性，并以水泥工业为例，采用现有工业自身技术革新及CO2高效转化技术对碳的源与汇进行控制来实现节能
培养具有坚实的理论基础和极强的实践技能的实用型财会人才，是高职院校从事会计专业的教育面临的重要课题。本文从自身工作经验出发，谈谈提高教学质量的措施。
通过磁控溅射法在硅基材上制备了不同基底温度的TaMo和TaMoN涂层，采用原子力显微镜（AFM）和X射线衍射仪（XRD）研究了在第三组元N加入的情况下TaMo涂层的表面形貌和组织结构，采用CHI电
从生产实际出发，基于正交试验法和采用Moldflow软件，对不同工艺条件下的塑件成型过程进行模拟分析，最后运用多目标综合平衡法，对塑件成型后的顶出体积收缩率、翘曲变形量和浇口注