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针对在粗光栅软件细分中的信号误差影响细分数的问题，提出了按细分的主要误差来源分类进行数字滤波和补偿的全数字化处理法。以达到粗光栅高精度测量的要求。首先对光栅测量信号进行有针对性的数字滤波，使其波形接近于理想状态。然后根据误差来源进行数字补偿，通过对软件数字细分原理的分析，推导出了原始信号不正交、幅值不等、谐波失真等误差影响细分结果的表达式，并提出了与此相对应的数字补偿方法。最后用软件细分法对测量信号进行高倍数数字细分。滤波前后波形信号的仿真比较结果验证了基于严格线性相位的FIR数字带通滤波器可以有效地屏蔽