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我们使用X射线荧光分析未检测到汞敏化光CVD-SiO2薄膜中的汞.而使用冷原子荧光测汞仪检测到薄膜中汞含量为3.7～8.7ppt.
汞敏化光CVD—SiO2薄膜汞含量的X-射线荧光分析
【摘 要】
：
我们使用X射线荧光分析未检测到汞敏化光CVD-SiO2薄膜中的汞.而使用冷原子荧光测汞仪检测到薄膜中汞含量为3.7～8.7ppt.
【机 构】
：
西北电讯工程学院,
【出 处】
：
微电子学与计算机
【发表日期】
：
1988年02期
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