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作为微电子机械系统（MEMS）技术中最有潜力的绝热材料，纳米多孔二氧化硅薄膜近年来引起了广泛的关注。研究表明其绝热性能与微观结构密切相关。综述了纳米多孔二氧化硅薄膜的制备方法、表征手段和绝热机理，并讨论了目前存在的一些问题和今后的发展方向。
纳米多孔二氧化硅绝热薄膜的研究进展
【摘 要】
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作为微电子机械系统（MEMS）技术中最有潜力的绝热材料，纳米多孔二氧化硅薄膜近年来引起了广泛的关注。研究表明其绝热性能与微观结构密切相关。综述了纳米多孔二氧化硅薄膜的制备
【机 构】
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云南大学材料科学与工程系
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2006年12期
【基金项目】
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教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-04-0915)
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