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采用多晶硅桥结构作为集成传感器的敏感元件,容易制成用于测量流速、流向、温度和光强等的多功能传感器,此结构制造简单、设计灵活、兼容性强、性能优良,为解决传感器的集成化、多功能
多晶硅桥在集成传感器中的多功能性研究
【摘 要】
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采用多晶硅桥结构作为集成传感器的敏感元件,容易制成用于测量流速、流向、温度和光强等的多功能传感器,此结构制造简单、设计灵活、兼容性强、性能优良,为解决传感器的集成
【机 构】
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东南大学微电子中心,东南大学微电子中心南京市,南京市
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1989年1期
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