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本文采用能量为2Me V的质子束入射Mo基底表层Ti（He）薄靶,测量了散射角160°方向上的背散射能谱,用SIMNRA进行了拟合。SIMNRA虽然在计算多次散射影响时采用了双散射近似,并且使用元素的卢瑟福散射截面代替非卢瑟福散射截面。研究表明对He、O、Si这类较轻的非卢瑟福散射元素,SIMNRA能够较好地处理对其的模拟。