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用消光式椭圆偏振光谱测量薄膜光学参数的方法
用消光式椭圆偏振光谱测量薄膜光学参数的方法
来源 :计量技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xue852456
【摘 要】
:
本文主要介绍如何应用 TP—77型椭偏仪与 WDF 反射式单色仪组合,实现不同波长下的消光椭偏测量。此方法可测量薄膜厚度、折射率、吸收系数等光学参数。
【作 者】
:
魏爱俭
【机 构】
:
山东大学光学系
【出 处】
:
计量技术
【发表日期】
:
1993年1期
【关键词】
:
薄膜
光学
参数
测量
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本文主要介绍如何应用 TP—77型椭偏仪与 WDF 反射式单色仪组合,实现不同波长下的消光椭偏测量。此方法可测量薄膜厚度、折射率、吸收系数等光学参数。
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