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SiCOI是一种新型的微电子SOI材料,有望在高温、高频、大功率、抗辐射等电子学领域得到应用发展.本文介绍了近年来几种SiCOI技术的发展并作简要评价.
SiCOI制造技术
【摘 要】
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SiCOI是一种新型的微电子SOI材料,有望在高温、高频、大功率、抗辐射等电子学领域得到应用发展.本文介绍了近年来几种SiCOI技术的发展并作简要评价.
【机 构】
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西安电子科技大学微电子所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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2001年2期
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