切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
光掩膜缺陷和清洗:一种新环境
光掩膜缺陷和清洗:一种新环境
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tt_lang
【摘 要】
:
和几乎所有半导体光封领域涉及的其它事情一样,光掩膜缺陷检测和消除正经历着一场革命,因为新的缺陷类型需要更多创新的清洗设备和工艺。
【作 者】
:
Franldin Kalk Joseph Gordon Da
【机 构】
:
ToppanPhotomasksInc.
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2007年11期
【关键词】
:
缺陷检测
清洗设备
掩膜
环境
缺陷类型
半导体
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
和几乎所有半导体光封领域涉及的其它事情一样,光掩膜缺陷检测和消除正经历着一场革命,因为新的缺陷类型需要更多创新的清洗设备和工艺。
其他文献
机载悬挂吊舱转动惯量的测量
在飞机飞行中,转动惯量是一个非常重要的技术指标,因此对于机载悬挂吊舱来说,它的转动惯量也会严重影响飞机的操稳性能[1] 。本文着重对吊舱的转动惯量进行了研究,提出了一种
期刊
转动惯量
扭摆
阻尼
新材料表征所面临的挑战
对用于下一代器件的新型材料进行验证经常需要更多的测试,在某些情况下还需要开发新的工艺和技术。
期刊
材料表征
新型材料
器件
Some questions on partial metric spaces
We show that the completion of a partial metric space can fail be unique,which answers a question on completions of partial metric spaces.In addition,to this pa
期刊
partial
metric
space
COMPLETION
METRIZABILITY
多重耐药鲍曼不动杆菌耐药基因检测及同源性分析
[目 的]鲍曼不动杆菌(Acinetobacter baumannii,Ab)是一种专性需氧、无动力、氧化酶阴性的非发酵糖革兰阴性杆菌,目前已发展成为医院感染最常见的机会性病原体之一,广泛分布
学位
鲍曼不动杆菌
多重耐药
耐药基因
同源性分析
多位点序列分型
SBN评2002年半导体10大新闻
<正> 日前,SBN评出2002年度半导体业10大新闻,其中有两条新闻并列第十,所以SBN本年实际上选出了11条新闻。
期刊
SBN
2002年
半导体业
新闻
硼酸对硫铝酸盐水泥凝结时间及后期强度影响的试验研究
以0.8为浆液的基础水灰比,通过试验研究硼酸的掺加量对硫铝酸盐水泥浆液凝结时间、结石率以及抗压强度的影响规律,并分析硫铝酸盐水泥浆液在旋喷桩止水帷幕工程中的应用条件
期刊
硫铝酸盐水泥
硼酸
凝结时间
后期强度
sulphoaluminate cementboric acidsetting timelater strength
茂名地区医疗卫生机构检验人员艾滋病相关知识认知现状分析
目的了解茂名地区医疗卫生机构检验人员艾滋病相关知识的认知现状,为进一步开展艾滋病培训和防制工作提供参考。方法随机抽取茂名市辖区内县级以上医疗卫生机构100名检验人员
期刊
检验人员
艾滋病
相关知识
medical laboratory worker AIDS related knowledge
把初心融入为人民谋幸福中
走在开启建设社会主义现代化国家的新征程上,也是走在全面提高全国人民幸福指数的新征程上。我们必须保持定力,不畏风雨、奋力向前,集中精力办好自己的事情。$$“为中国人民谋幸
报纸
新型三维左手材料的设计与应用研究
左手材料是一种人工合成的电磁材料,具有一些不同于自然界中媒质材料的电磁特性,在医学、通信和军事等领域都有着广泛的应用。本论文在左手材料的电磁特性与结构设计的原理基
学位
左手材料
左手特性
磁共振成像
新生儿退黄洗液对新生儿黄疸的早期干预效果
目的探讨新生儿退黄洗液对新生儿黄疸的早期干预效果。方法选取2011年1月至2011年12月在我院正常出生的足月新生儿64例,随机将所有新生儿分为对照组和研究组各32例。对照组单
期刊
新生儿退黄洗液
黄疸
与本文相关的学术论文