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结合传统的工业控制模型和最新的计算机网络技术 ,给出了基于TCP协议的远程控制模型和工业解决方案,并进一步给出了在研制的生长GaN材 料的金属有机化学蒸发沉积物(MOCVD)设备中的应用,经过试用,取得了良好的应用效果.
远程控制在MOCVD系统中的设计与应用
【摘 要】
：
结合传统的工业控制模型和最新的计算机网络技术 ,给出了基于TCP协议的远程控制模型和工业解决方案,并进一步给出了在研制的生长GaN材 料的金属有机化学蒸发沉积物(MOCVD)设
【机 构】
：
西安电子科技大学
【出 处】
：
西安电子科技大学学报
【发表日期】
：
2005年2期
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