截止频率8.7THz的平面肖特基势垒二极管

来源 :太赫兹科学与电子信息学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sw1026wy
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肖特基势查二极管(SBD )具有强非线性效应、速度快及容易系统集成等特点,常用于微波、毫米波及太赫兹波的产生和检测.本文通过电子束光刻等技术制作出肖特基接触直径1 p m的二极管,并对二极管进行了直流测试和射频测试.经过直流测试,二极管的串联电阻为10.2D ,零偏结电容为1.76 f F ,肖特基结截止频率达到了 8.7T H z;相同管子的射频测试串联电阻为15.4D ,零偏结电容1.46 f F ,肖特基结截止频率也达到了 7 T H z.
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