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将生产计划与生产调度整合,提出整合式晶圆生产控制系统,以应对生产过程中的异常情况,提高晶圆厂的生产绩效。利用两大建模工具IDEF0和Petri Net的各自优点,对整合式生产控制系统建模。
多重入晶圆制造厂整合式生产控制系统建模
【摘 要】
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将生产计划与生产调度整合,提出整合式晶圆生产控制系统,以应对生产过程中的异常情况,提高晶圆厂的生产绩效。利用两大建模工具IDEF0和Petri Net的各自优点,对整合式生产控制
【机 构】
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郑州航空工业管理学院工业工程系,河北能源职业技术学院开滦党校,上海理工大学管理学院
【出 处】
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工业工程
【发表日期】
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2007年5期
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