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本文对基于微机电系统(MEMS)的指叉式微机械硅加速度计(FMSA)进行了综述.本文展示了电容式加速度计的原理,提出了科学问题并尝试给出不同的解决方案,并介绍了在技术产品领域广泛使用的特定应用程序.
关于指叉式微型硅加速度传感器的综述
【摘 要】
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本文对基于微机电系统(MEMS)的指叉式微机械硅加速度计(FMSA)进行了综述.本文展示了电容式加速度计的原理,提出了科学问题并尝试给出不同的解决方案,并介绍了在技术产品领域
【机 构】
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中国地质大学(北京)信息工程学院,北京 100000
【出 处】
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电子元器件与信息技术
【发表日期】
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2020年11期
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