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BST铁电薄膜的制备及其性能的研究进展
BST铁电薄膜的制备及其性能的研究进展
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:czn2000
【摘 要】
:
Ba1-xSrxTiO3铁电薄膜具有优良的介电性、铁电性、热释电性,得到了广泛的研究,近年来取得了很多进展。简介了BST材料的结构,并综述了BST薄膜的制备方法及BST薄膜的性能测试和影
【作 者】
:
邱滟
胡文成
李元勋
朱琳
【机 构】
:
电子科技大学微电子与固体电子学院
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2004年F10期
【关键词】
:
BST铁电薄膜
研究进展
Ba1-xSrxTiO3
BST薄膜
热释电性
铁电性能
性能测试
制备方法
介电性
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Ba1-xSrxTiO3铁电薄膜具有优良的介电性、铁电性、热释电性,得到了广泛的研究,近年来取得了很多进展。简介了BST材料的结构,并综述了BST薄膜的制备方法及BST薄膜的性能测试和影响铁电性能的几个因素。
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