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主要对近几年来微机电系统的技术进步和应用情况作了介绍，特别对基于微机电技术的敏感器和执行机构在航空和航天领域的导航、制导和控制方面的应用进展作了较为详细的叙述，最后指出了MEMS技术的发展趋势和目前正在突破的关键技术。
硅微技术在导航、制导与控制中的应用及发展趋势
【摘 要】
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主要对近几年来微机电系统的技术进步和应用情况作了介绍，特别对基于微机电技术的敏感器和执行机构在航空和航天领域的导航、制导和控制方面的应用进展作了较为详细的叙述，最后
【机 构】
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西北工业大学航天学院
【出 处】
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测控技术
【发表日期】
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2007年3期
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