【摘 要】
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本文对不同的光刻胶厚度和腐蚀液温度下所得到的腐蚀剖面作了实验研究。
In this paper, the experimental results of the etching profiles obtained at different photor
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本文对不同的光刻胶厚度和腐蚀液温度下所得到的腐蚀剖面作了实验研究。
In this paper, the experimental results of the etching profiles obtained at different photoresist thicknesses and etching solution temperatures are studied.
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