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本文提出一种新型的基于非对称的马赫-增德干涉仪的CMOS兼容的热补偿器,能补偿大多数具有正热光效应的硅基光电子集成器件,虽然该热补偿器由硅基的马赫-增德干涉仪组成,但却具有负热光系数,且可直接通过现有CMOS工艺制作,为半导体光集成器件提供一种热稳定方式。
基于非对称的马赫-增德干涉仪的CMOS兼容的热补偿器
【摘 要】
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本文提出一种新型的基于非对称的马赫-增德干涉仪的CMOS兼容的热补偿器,能补偿大多数具有正热光效应的硅基光电子集成器件,虽然该热补偿器由硅基的马赫-增德干涉仪组成,但却
【机 构】
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国家知识产权局专利局专利审查协作广东中心
【出 处】
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山东工业技术
【发表日期】
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2016年6期
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