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利用脉冲多弧离子镀膜技术，以石墨为阴极镀制的无定形碳膜，其化学结构可用Ｒａｍａｎ光谱仪进行分析。薄膜的硬度和电阻率物理特性，可用常规方法测量。
用脉冲多弧离子放电技术镀制类金刚石薄膜及其化学结构和物理特性
【摘 要】
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利用脉冲多弧离子镀膜技术，以石墨为阴极镀制的无定形碳膜，其化学结构可用Ｒａｍａｎ光谱仪进行分析。薄膜的硬度和电阻率物理特性，可用常规方法测量。
【机 构】
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西安工业学院仪器系
【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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1998年03期
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