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结合微镜驱动器结构,通过引入热导和弹簧刚体模型分析了多驱动器间热传导和相互作用力导致的形变原因,并建立了多自由度微镜的数学模型。仿真与实验数据对比说明:建立的模型与实验结果具有较好的一致性,能够预测4个驱动器的输入响应特性。
一种电热式MEMS微镜多自由度模型解析方法
【摘 要】
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结合微镜驱动器结构,通过引入热导和弹簧刚体模型分析了多驱动器间热传导和相互作用力导致的形变原因,并建立了多自由度微镜的数学模型。仿真与实验数据对比说明:建立的模型
【机 构】
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苏州大学电子信息学院,无锡微奥科技有限公司江苏无锡214000,美国佛罗里达大学电气与计算机工程系
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2014年10期
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