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利用正交函数法对气体在具有任意截面形状的微尺度槽道内的充分发展层流滑移流动特性进行了理论分析,获得了任意截面形状微槽道内的速度分布和流动阻力特性的分析解,并以矩形微槽为例分析了微槽截面上的速度分布和阻力特性.结果表明:随Kn数的增加,由于壁面处滑移流动的影响,气体流经微槽的流动阻力常数小于大尺度理论预测值;理论分析解的结果与实验结果吻合较好,表明在一定的Kn数范围内Navier-Stokes方程在考虑了速度滑移后可以描述微通道内的气体流动过程;正交函数法在微槽内滑移流动的分析中是可行的.