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从目前循环冷却水系统中普遍存在的结垢问题入手，引出臭氧水处理法，它是一种环保、安全、高效的水处理方法。臭氧在处理循环冷却水时能起到杀菌、缓蚀、阻垢及脱垢的作用。简要阐述臭氧处理循环冷却水的阻垢及脱垢原理，分析污垢对冷水机组性能的影响。臭氧处理冷水机组循环冷却水的试验表明，臭氧水处理方法能够显著提高冷水机组的COP。